MASS-SPECTROMETRIC STUDY OF VAPOR SPECIES OVER SILICON AND SILICON OXIDES

被引:0
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作者
ZMBOV, KF [1 ]
AMES, LL [1 ]
MARGRAVE, JL [1 ]
机构
[1] RICE UNIV,DEPT CHEM,HOUSTON,TX 77001
来源
HIGH TEMPERATURE SCIENCE | 1973年 / 5卷 / 04期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:235 / 240
页数:6
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