KINETIC-ENERGY ENHANCED MOLECULAR-BEAM EPITAXIAL-GROWTH OF SI(100)

被引:14
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作者
GARRISON, BJ [1 ]
MILLER, MT [1 ]
BRENNER, DW [1 ]
机构
[1] USN,RES LAB,WASHINGTON,DC 20375
关键词
D O I
10.1016/0009-2614(88)87500-6
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:553 / 556
页数:4
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