METAL LOADED POLY-P-XYLYLENE

被引:4
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作者
BIEG, KW
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.570899
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1231 / 1232
页数:2
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