MICROTOPOGRAPHY OF OXIDE FILMS FORMED ON TANTALUM

被引:15
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作者
PAWEL, RE
CATHCART, JV
CAMPBELL, JJ
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2427578
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页数:5
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