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METHODOLOGY FOR BIPOLAR PROCESS DIAGNOSIS AND ITS APPLICATION TO ADVANCED SELF-ALIGNED BIPOLAR-TRANSISTORS
被引:9
|作者:
LI, GP
HACKBARTH, E
CHUANG, CT
TANG, DDL
CHEN, TC
机构:
关键词:
D O I:
10.1109/T-ED.1987.23145
中图分类号:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号:
0808 ;
0809 ;
摘要:
引用
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页码:1736 / 1740
页数:5
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