ION-INDUCED AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY - NEW DETECTION METHOD FOR COMPOSITIONAL HOMOGENEITIES OF ALLOYED ATOMS IN SILICON

被引:1
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作者
HIRAKI, A
IMURA, T
IWAMI, M
KIM, SC
USHITA, K
OKAMOTO, H
HAMAKAWA, Y
机构
来源
SOLAR ENERGY MATERIALS | 1979年 / 2卷 / 01期
关键词
D O I
10.1016/0165-1633(79)90035-2
中图分类号
TE [石油、天然气工业]; TK [能源与动力工程];
学科分类号
0807 ; 0820 ;
摘要
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页码:125 / 130
页数:6
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