ANNEALING BEHAVIOR AND ETCHING PHENOMENA OF MICRODEFECTS IN DISLOCATION-FREE FLOAT-ZONE SILICON

被引:17
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作者
DARAGONA, FS
机构
来源
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210070232
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:577 / &
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