MELT GROWTH OF CRYSTALLINE SILICON TUBES BY A CAPILLARY ACTION SHAPING TECHNIQUE

被引:8
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作者
CISZEK, TF [1 ]
机构
[1] IBM CORP,E FISHKILL LABS,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533
来源
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210320222
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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