ADHESION MEASUREMENT OF THIN-FILMS ON GLASS SUBSTRATES

被引:14
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作者
KINBARA, A [1 ]
BABA, S [1 ]
KIKUCHI, A [1 ]
KAJIWARA, T [1 ]
WATANABE, K [1 ]
机构
[1] MITSUBISHI ELECT CORP,OFUNA 247,JAPAN
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(89)90036-9
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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