CHARACTERIZATION OF INN, IN2O3, AND IN OXY-NITRIDE SEMICONDUCTING THIN-FILMS USING XPS ELECTRON-ENERGY LOSS SPECTRA

被引:12
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作者
BARR, TL
NATARAJAN, BR
ELTOUKHY, AH
GREENE, JE
机构
[1] UNIV ILLINOIS,DEPT COORDINATED SCI LAB,URBANA,IL 61801
[2] UNIV ILLINOIS,DEPT MET,URBANA,IL 61801
来源
关键词
D O I
10.1116/1.570024
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:517 / 517
页数:1
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