TANTALUM ION-TRANSPORT NUMBER DURING ANODIC-OXIDATION OF BETA-TANTALUM FILMS

被引:1
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作者
SCHWARTZ, N
AUGUSTYNIAK, WM
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2131302
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:1812 / 1817
页数:6
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