PLASMA-ASSISTED DEPOSITION OF GAAS THIN-FILMS

被引:3
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作者
TAKENAKA, K
HARIU, T
SHIBATA, Y
机构
关键词
D O I
10.7567/JJAPS.19S2.183
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页码:183 / 186
页数:4
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