EPITAXIAL GROWTH OF GALLIUM ARSENIDE BY USING SILICON TETRACHLORIDE

被引:3
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作者
FURUKAWA, Y
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.6.1344
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1344 / &
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