DEPOSITION OF THIN-FILMS OF PZT BY A FOCUSED ION-BEAM SPUTTERING TECHNIQUE

被引：11
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作者：
CASTELLANO, RN
机构：
来源：
FERROELECTRICS | 1980年 / 28卷 / 1-4期
关键词：
D O I：
10.1080/00150198008227115
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：387 / 390
页数：4
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