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DISSOLUTION RATE MODIFYING CHEMISTRY - INTERACTION OF BASE-SOLUBLE AND BASE-INSOLUBLE NONACTINIC DYES WITH NOVOLAK POLYMERS AND NOVOLAK-BASED POSITIVE PHOTORESISTS
被引：0
|作者：
CERNIGLIARO, GJ
CRONIN, MF
FISHER, TA
PERKINS, ME
TURCI, P
机构：
来源：
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];
学科分类号：
070304 ;
081704 ;
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页数：11
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