SOLID SOLUBILITY OF COBALT IN SILICON

被引:15
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作者
KITAGAWA, H [1 ]
HASHIMOTO, K [1 ]
机构
[1] KYUSHU UNIV,FAC ENGN,DEPT ELECT ENGN,FUKUOKA 812,JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.16.857
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:857 / 858
页数:2
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