TWO-DIMENSIONAL ELECTROMAGNETIC-FIELD EFFECTS IN INDUCTION PLASMA MODELING

被引：166
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作者：
MOSTAGHIMI, J
BOULOS, MI
机构：
来源：
PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING | 1989年 / 9卷 / 01期
关键词：
D O I：
10.1007/BF01015825
中图分类号：
TQ [化学工业];
学科分类号：
0817 ;
摘要：
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页数：20
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