WALL COLLISIONS, ANGULAR FLUX, AND PUMPING REQUIREMENTS IN MOLECULAR-FLOW THROUGH TUBES AND MICROCHANNEL ARRAYS

被引：17
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作者：
MURPHY, DM
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 05期
关键词：
D O I：
10.1116/1.576317
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
摘要：
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页码：3075 / 3091
页数：17
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