A-SI-H PRODUCED BY HIGH-TEMPERATURE THERMAL-DECOMPOSITION OF SILANE

被引:119
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作者
WIESMANN, H
GHOSH, AK
MCMAHON, T
STRONGIN, M
机构
关键词
D O I
10.1063/1.326284
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:3752 / 3754
页数:3
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