A SIMPLE INSTRUMENT FOR MEASURING AND NULLING SURFACE-POTENTIAL DURING SPUTTERING EXPERIMENTS

被引：1
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作者：
DALGLISH, R
KATSCH, R
KERESTES, Z
机构：
来源：
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1980年 / 13卷 / 10期
关键词：
D O I：
10.1088/0022-3735/13/10/002
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：1047 / 1049
页数：3
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