NUCLEATION KINETICS IN THIN FILM GROWTH .3. TRANSIENT NUCLEATION AND NUCLEATION ON PREFERRED SUBSTRATE SITES

被引：39
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作者：
STOWELL, MJ
HUTCHINSON, TE
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1971年 / 8卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(71)90059-9
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
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