CLEANING AND CONDITIONING OF THE WALLS OF PLASMA-DEVICES BY GLOW-DISCHARGES IN HYDROGEN

被引:39
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作者
WAELBROECK, F
WINTER, J
WIENHOLD, P
机构
来源
关键词
D O I
10.1116/1.572465
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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页码:1521 / 1536
页数:16
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