LOW-PRESSURE LIMITS OF HOT-FILAMENT IONIZATION GAUGES

被引:2
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作者
HOBSON, JP
REDHEAD, PA
机构
来源
关键词
D O I
10.1116/1.1492408
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:93 / &
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