PREPARATION OF THIN SILICA FILMS IN A GLOW-DISCHARGE

被引:0
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作者
GILMAN, AB [1 ]
KOLOTYRKIN, VM [1 ]
机构
[1] LY KARPOV PHYSICOCHEM INST,MOSCOW,USSR
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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页数:2
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