MAGNETRON SPUTTERING - WHAT WE HAVE AND WHAT WE NEED

被引:0
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作者
VANVOROUS, T
机构
来源
INDUSTRIAL RESEARCH & DEVELOPMENT | 1982年 / 24卷 / 09期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页数:2
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