CHEMICAL ETCHING OF GERMANIUM WITH H3PO4-H2O2-H2O SOLUTION

被引:29
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作者
KAGAWA, S
MIKAWA, T
KANEDA, T
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.21.1616
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页码:1616 / 1618
页数:3
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