DYNAMIC INTERACTION OF FLOATING SUBSTRATES WITH AN ION-BEAM FROM A 3 GRID MICROTECH SYSTEM OPERATED WITHOUT NEUTRALIZER

被引：1

作者：

NIR, D ^{[1
]}

机构：

[1] TECHNION ISRAEL INST TECHNOL,INST SOLID STATE,IL-32000 HAIFA,ISRAEL

来源：

关键词：

DIAMOND-LIKE CARBON - DYNAMIC INTERACTION - FLOATING SUBSTRATES - ION BEAM - THREE GRID MICROTECH SYSTEM;

D O I：

10.1016/0042-207X(86)90011-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：317 / 321

页数：5