REAL-TIME MEASUREMENT OF SURFACE-ROUGHNESS BY CORRELATION OF SPECKLE PATTERNS

被引:77
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作者
LEGER, D [1 ]
PERRIN, JC [1 ]
机构
[1] CO ELECTROMECANIQUE,CTR ETUD RECH,OPTIQUE COHERENTE LAB,F-93350 LE BOURGET,FRANCE
关键词
D O I
10.1364/JOSA.66.001210
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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页码:1210 / 1217
页数:8
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