TRANSITION-METAL SILICIDES - LOW RESISTIVITY ALTERNATIVES FOR POLYSILICON AND METALS IN INTEGRATED-CIRCUITS

被引:8
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作者
MURARKA, SP
机构
来源
JOURNAL OF METALS | 1984年 / 36卷 / 07期
关键词
D O I
10.1007/BF03338505
中图分类号
TF [冶金工业];
学科分类号
0806 ;
摘要
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