HEAT-TREATMENT IN HYDROGEN GAS AND PLASMA FOR TRANSPARENT CONDUCTING OXIDE-FILMS SUCH AS ZNO, SNO2 AND INDIUM TIN OXIDE

被引：91
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作者：
MINAMI, T
SATO, H
NANTO, H
TAKATA, S
机构：
来源：
THIN SOLID FILMS | 1989年 / 176卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(89)90100-4
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：277 / 282
页数：6
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