INFLUENCE OF CARBON AND OXIDE-FILMS ON SPUTTERING OF METALS IN GLOWING DISCHARGES IN ARGON, OXYGEN AND CARBONIC-ACID GAS INVESTIGATED BY OPTICAL SPECTROSCOPY METHODS

被引:0
|
作者
MALANOV, KA
SVETTSOV, VI
机构
来源
IZVESTIYA AKADEMII NAUK SERIYA FIZICHESKAYA | 1994年 / 58卷 / 03期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
收藏
页码:77 / 81
页数:5
相关论文
empty
未找到相关数据