Fluorocarbon dielectrics via hot filament chemical vapor deposition.

被引:0
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作者
Gleason, KK [1 ]
机构
[1] MIT, Dept Chem Engn, Cambridge, MA 02139 USA
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
021-FLUO
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页码:U547 / U547
页数:1
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