Investigation of etched silicon wafers for lobster-eye optics (vol 70, pg 1268, 1999)

被引:0
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作者
Peele, A. G. [1 ]
机构
[1] La Trobe Univ, Dept Phys, Bundoora, Vic 3068, Australia
来源
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 2011年 / 82卷 / 08期
关键词
D O I
10.1063/1.3629145
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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