MEMS testing: Goals and needs.

被引：0
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作者：
Sviridova, T. [1 ]
Lobur, M. [1 ]
Marikutsa, U. [1 ]
Korpyljov, D. [1 ]
机构：
[1] Lviv Polytech Natl Univ, UA-79013 Lvov, Ukraine
来源：
TCSET 2006: MODERN PROBLEMS OF RADIO ENGINEERING, TELECOMMUNICATIONS AND COMPUTER SCIENCE, PROCEEDINGS | 2006年
关键词：
MEMS; testing; self-test; data validation;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP301 [理论、方法];
学科分类号：
081202 ;
摘要：
In this paper overview of MEMS testing is presented, main goals for testing are carried out, market analysis of MEMS technology area is given.
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页数：2
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