耐熔金属约瑟夫逊隧道结制备中Nb／AlOx－Al／Nb结构质量的检验

被引：0

作者：

陈赓华，韩智毅，杜寰，徐凤枝，杨乾声

机构：

[1] 中科院物理所

来源：

关键词：

约瑟夫逊结; 最佳参数; 制备过程; AlO_x; Nb; 直流磁控溅射; Al; 金属; 金属材料;

D O I：

暂无

中图分类号：

O472 [半导体性质];

学科分类号：

摘要：

在耐熔金属约瑟夫逊结制备过程中，我们应用各种分析技术对Ｎｂ／ＡｌＯｘ－Ａｌ／Ｎｂ基本结构的质量作了检验；基于这些分析，从实验上确定了用直流磁控溅射制备该结构时的最佳参数．

引用

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