以BCl3-CH4-H2为前驱体、化学气相沉积制备BxC凝聚相产物的热力学研究（英文）

被引：1
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作者：
孙国栋 [1 ,2 ,3 ]
邓娟利 [1 ,2 ]
李辉 [1 ,2 ]
张青 [3 ]
机构：
[1] 长安大学
[2] 西北工业大学凝固技术国家重点实验室
[3] 西北工业大学超高温结构复合材料重点实验室
来源：
稀有金属材料与工程 | 2015年 / 44卷 / 04期
关键词：
热力学; 化学气相沉积; 凝聚相;
D O I：
暂无
中图分类号：
O613.81 [];
学科分类号：
摘要：
采用完整热力学平衡分析验证了自愈合相BxC的产物是温度和初始气体摩尔比的函数。结果表明,凝聚相的成分与温度和气体的摩尔比(如BCl3:(BCl3+CH4)、H2:(BCl3+CH4))密切相关。BxC的理想沉积条件是:BCl3:(BCl3+CH4)之比为0.8,H2:(BCl3+CH4)之比在10～105.2之间,而温度应高于950 K。材料的富碳或者富硼主要通过调整BCl3:(BCl3+CH4)和H2:(BCl3+CH4)的气体摩尔比来控制。
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