基于Simul8的半导体生产线建模关键技术研究

被引：0

作者：

方明 ^{[1
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乔非 ^{[1
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刘文胜 ^{[2
]}

许潇红 ^{[1
]}

机构：

[1] 同济大学电子与信息工程学院

[2] 上海贝岭股份有限公司

来源：

关键词：

建模仿真; 动态加工区; 二级缓冲区; 存储空间;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305 [半导体器件制造工艺及设备]; TP391.9 [计算机仿真];

学科分类号：

080203 ; 1401 ;

摘要：

在对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中,提出了非动态加工区和动态加工区的分类思想,给出了各自基于Simul8的实现方法。对于高度复杂的动态加工区,给出了3种解决方法,从仿真速度上比较其优劣。仿真应用表明,提出的半导体生产线分类方法有效改进了仿真的性能,使仿真指导生产具有可行性。

引用

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