Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7/Ba0.5Sr0.5TiO3复合薄膜介电性能的频率特性研究

被引：0

作者：

李汝冠 ^{[1
]}

高莉彬 ^{[1
]}

蒋书文 ^{[1
]}

机构：

[1] 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

来源：

电子元件与材料 | 2013年 / 32卷 / 06期

关键词：

频率特性; 介电调谐; 介电损耗; 介电常数; 铌酸锌铋(BZN); 钛酸锶钡(BST);

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383.2 [];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

采用射频磁控溅射法在蓝宝石基片上制备了Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7(BZN)/Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)双层复合薄膜,并研究了该薄膜在100 kHz~6 GHz频率范围内的介电性能。研究结果表明,BZN/BST复合薄膜的介电性能具有良好的频率稳定性。该复合薄膜的介电常数在研究的频率范围内基本与频率无关;其介电损耗在频率低于1 GHz时与频率无关,在频率高于1 GHz时随频率的上升而略微增大;薄膜在研究的频率范围内具有稳定的介电调谐率。

引用

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