基底温度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响

被引：2

作者：

李爱侠

孙大明

孙兆奇

宋学萍

赵宗彦

机构：

[1] 安徽大学物理系

来源：

复合材料学报 | 2004年 / 02期

基金：

安徽省自然科学基金;

关键词：

Ag-MgF2金属陶瓷薄膜; 应力; 基底温度; 微结构;

D O I：

10.13801/j.cnki.fhclxb.2004.02.004

中图分类号：

O484.2 [薄膜中的力学效应];

学科分类号：

摘要：

用电子薄膜应力分布测试仪测量了基底温度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响。结果表明:基底温度在300℃～400℃范围内,20.4mm选区内的薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀,应力为张应力。XRD分析表明:当基底温度在300℃～400℃范围内,Ag-MgF2薄膜中的Ag和MgF2组分的晶格常数接近块体值,说明通过改变基底温度可以降低薄膜内应力。

引用

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