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机电工程科学前沿与发展的思考(2)
被引：8
|作者：
朱剑英
[1
]
机构：
[1] 南京航空航天大学!江苏南京210016
来源：
关键词：
超精密加工;
纳米加工技术;
纳米级;
加工精度;
超精切削;
原子尺度;
光学平晶;
微电子芯片;
刻线宽度;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH-1 [];
学科分类号：
0802 ;
摘要：
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