Influence of SnO2-ZnO UPF Compound Technique on Its Surface Morphology and Structures

被引：0

作者：

王声乐

潘孝仁

黄家桢

沈明庚

机构：

[1] 华东理工大学物理系

[2] 华东理工大学分析测试中心

来源：

关键词：

氧化锌; 氧化锡; 超微粒子; 晶相结构; 复合薄膜;

D O I：

10.14135/j.cnki.1006-3080.1996.01.022

中图分类号：

TQ320.721 [];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法，通过二次蒸镀，制备了以氧化锌为衬底的ＳｎＯ－ＺｎＯ复合型功能气敏薄膜。讨论制备工艺对该薄膜微观结构的影响，并提供了宏观性质和微观机理分析结果。

引用

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