La0.5Sr0.5CoO3多晶靶材的制备研究

被引:1
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作者
宋丽贤 [1 ]
卢忠远 [1 ]
张利胜 [2 ]
张鹏翔 [2 ]
机构
[1] 西南科技大学先进建筑材料四川省重点实验室
[2] 昆明理工大学
关键词
LSCO(La0.5Sr0.5CoO3); 晶相; 多晶靶材; PLD(Pulsed Laser Deposition);
D O I
暂无
中图分类号
O484 [薄膜物理学];
学科分类号
080501 ; 1406 ;
摘要
为制备出纯度高、单一物相、致密的、符合后期PLD(Pu lsed Laser Deposition)镀膜所用要求的LSCO(La0.5Sr0.5CoO3)靶材,对LSCO的制备方法及其过程进行了分析研究。采用半共沉淀法,LSCO前驱物经900℃预烧、研磨,可制得纯度高、物相单一的LSCO粉体;用干压方法成型,在不同的温度下对其烧结,通过研究烧结体的XRD图谱、吸水率和密度并结合LSCO粉体的DSC-TG曲线,确定出制备LSCO多晶靶材的最佳烧结温度为1200~1250℃,比用固相法制备粉体的靶材烧结温度降低了100~150℃。
引用
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页数:5
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