本文介绍了SiHCl3精馏提纯的基本原理,重点为理论塔板数及回流比的计算等,并讨论了如何提高SiHCl3与杂质氯化物的最大分离效率问题。 半工业试验使用的精馏塔为穿流式筛板塔,所有材料为316及316L不锈钢。讨论了:(1)不锈钢材料的防腐蚀问题;(2)金属杂质氯化物的蒸汽压与掺杂效应有关问题;(3)研究辅助提纯的方法以配合精馏提纯法。确定了氧化铝吸附、粗馏及精馏提纯的工艺条件。确定了精馏、还原设备所选用的适当耐腐蚀材料。氧化铝吸附法作为辅助手段并与SiHCl3还原法结合来考虑,这种方法可称为精密精馏提纯法。