STM和AFM的研制

被引：1

作者：

夏国鑫

黄惠金

罗照康

李铭扬

机构：

[1] 上海光学仪器研究所!上海２０００９３

来源：

光学仪器 | 1998年 / 06期

关键词：

STM（扫描隧道显微镜）; AFM（原子力显微镜）;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

叙述ＳＴＭ（扫描隧道显微镜）和ＡＦＭ（原子力显微镜）的主要关键技术和研制情况。在研制的ＳＴＭ和ＡＦＭ样机上，对１２００１／ｍｍ光栅进行测量，得出本样机的测量重复性可达１０％以内。对研制的样机进行分析和对比后提出：ＳＴＭ和ＡＦＭ，尤其是ＡＦＭ，技术上已趋于成熟；使用上简单、方便，已达到实用化程度，可以作为高级表面粗糙度测量的常用计量仪器。

引用

页码：18 / 23

页数：6