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作者
:
一凡
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一凡
机构
:
来源
:
微电子技术
|
1994年
/ 06期
关键词
:
电容单元;
下电极;
氧化膜;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TP333 [存贮器];
学科分类号
:
081201 ;
摘要
:
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页码:59 / 59
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