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Silicon optical MEMS:optical components and sensors
被引：3
|作者：
Kazuhiro Hane
机构：
[1] Dept.Mechatronics and Precision Engineering
[2] Japan
[3] Tohoku University Sendai 980-8579
来源：
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TH703 [结构];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
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页码：632 / 633
页数：2
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