先进电子制造中的重要科学问题

被引：28

作者：

雷源忠

雒建斌

丁汉

钟掘

机构：

[1] 上海 200030

[2] 上海交通大学机械工程学院

[3] 中南大学机电工程学院北京 100085

[4] 北京 100084

[5] 国家自然科学基金委员会工程与材料科学部

[6] 清华大学摩擦学国家重点实验室

[7] 长沙 410083

来源：

中国科学基金 | 2002年 / 04期

关键词：

先进电子制造; 计算机硬盘; 芯片封装;

D O I：

10.16262/j.cnki.1000-8217.2002.04.005

中图分类号：

F426.6 [];

学科分类号：

0202 ; 020205 ;

摘要：

电子信息产业是关系国家利益和安全的基础性和战略性产业。成为先进电子制造(AEM)强国是我国21世纪发展的战略目标,实现这一目标的关键是必须能自主地提供电子产业的AEM工艺、技术和装备。电子业的迅速发展,对制造装备的极限制造能力提出了严峻的挑战。其主要技术特点有:高运动精度(亚微米至纳米级定位精度)、高加速度(>15g)、高制造精度和高可靠性。提出面向下一代AEM新理论、新方法,造就一大批从事该领域的高科技人才,为我国AEM产业拥有自主产权的新工艺、新装备、实现跨越式发展提供技术基础是21世纪我国基础性研究面临的一项紧迫任务。本文论述了AEM领域的国内外现状、提出了该领域存在的重要科学问题和将要实施的计划措施。

引用

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