Reflectivite non speculaire d'une multicouche silicium-molybdene par la methode de dispersion d'energie des rayons X (5-20 keV)

被引：0

作者：

Malaurent, J.C. ^{[1
]}

Duval, H. ^{[1
]}

机构：

[1] LPS, Bâtiment 510, Université Paris-Sud, 91405 Orsay Cedex, France

来源：

Journal De Physique. IV : JP | 2000年 / 10卷 / 10期

关键词：

Energy dispersive spectroscopy - Molybdenum - Photons - Silicon;

D O I：

10.1051/jp4:20001024

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

The intensity scattered outside the specular reflexion direction has been measured on a periodic Mo/Si multilayer illuminated by an X-ray continuous spectrum. The Energy Dispersive Method (EDM) is used to study this intensity. In the reciprocal space, the (Qx, Qz) plane is investigated through various rocking scans. We discuss the reflected and scattered intensities, in the incidence plane as a function of the incidence angle and energy of impinging photons. The various diffused scattered streaks which are observed are also discussed.

引用

页码：221 / 227

共 3 条

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