CALCULATION OF GEOMETRICAL CHANGES IN CYLINDRICAL COPPER HOLLOW CATHODES DUE TO SPUTTERING.

被引：0
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作者：
Hamisch, J. [1 ]
de la Rosa, J. [1 ]
机构：
[1] Technische Univ, Berlin, West Ger, Technische Univ, Berlin, West Ger
来源：
| 1600年 / B43期
关键词：
CONICAL REGIONS - CYLINDRICAL COPPER HOLLOW CATHODES - NEGATIVE GLOW REGION;
D O I：
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