Reactions of trimethylaluminum and ammonia on alumina at 600 K - surface chemical aspects of AlN thin film growth

被引:0
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作者
Univ of Washington, Seattle, United States [1 ]
机构
来源
Surf Sci | / 1-2卷 / 88-100期
关键词
Number:; CTS-9303974; Acronym:; NSF; Sponsor: National Science Foundation;
D O I
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